招标概要
卧式氧化炉2.数量：1台3.设备原理及用途：通过水汽氧化工艺在晶圆表面一次性生长15μm的氧化层。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2540SUMECA83/16招标项目名称:卧式氧化炉项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注********
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