调过程中的接触应力以及环境微颗粒污染等因素均可能引发光学元件表面划痕、微裂纹等损伤,此类损伤不仅会显著降低元件服役寿命和长期热稳定性,更会破坏表面膜基结合强度,导致膜层应力失配与界面散射效应,最终造成波前畸变和光通量衰减,对深圳中能高重复频率X射线自由电子激光光束线产生系统性风险。因此亟需采购一.
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