项目信息： 建设内容
主要产品     年产50台套半导体薄膜沉积设备
项目简介
       本项目位于江苏省无锡市江阴高新技术产业开发区，由江苏首芯半导体科技有限公司投资建设。新增建筑面积25166㎡，引进原子薄膜沉积设备、颗粒物数量检测设备、SEM电镜等进口设备6台套，购置Etch刻蚀设备、物理气相沉积设备、原子薄膜沉积设备等国产设备44台套，新增20立方米液氮储罐1个，5立方米液氧储罐1个、5立方米液氩储罐1个、5立方米液氦储罐1个。项目完成后，形成年产50台套半导体薄膜沉积设备的生产能力。
      项目投资额50000万元。
进展动态
        2023-08-03    项目备案已批复。
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招标进展：