招标概要
一、项目基本情况
项目编号：SEU-ZB-2
项目名称：东南大学电子科学与工程学院原子层沉积系统采购
预算金额：48.000000 万元（人民币）
采购需求：
电子科学与工程学院采购原子层沉积系统1套，主要技术要求如下：
①腔室：外热式单腔腔室，真空环境下无加热器，前驱体源不可以任何方式接触加热器，反应腔室可放下最大8英寸晶圆；
②反应温度：最高不超过150℃，温度控制精度±1℃,可以在≤100℃下制备SnO2；
③标准加热液态前驱体源3路，配置swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃。
合同履行期限：详见采购文件
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照复印件）。（2）投标供应商须提供法定代表人授权书原件、法定代表人身份证复印件、授权代表身份证复印件和授权代表在公司内近3个月内的社保缴纳证明（如果是法定代表人直接参与投标的可以不提供授权书）。
三、获取招标文件
时间：2025年07月30日 至 2025年08月05日，每天9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
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联系人：萧 敏
手机：13810519997 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：xiaomin@dlzb.com
电话：010-88716602
QQ：1571675411
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