额(万元)预计采购时间备注1半导体物理性质测试系统采购内容:探针台、电学源表、紫外单色光源；主要功能或目标:半导体材料及器件在高精度、大范围、低功耗等条件下物理性质的测试，能实现半导体样品在低温、高温、单色光照等严苛环境下，在高频、超短脉冲、大量程等条进下进行的高精度电学性质测量，能满足光电探测器、.
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