.设备数量：44台(*全新设备)3.用途：SMIF用###路制造生产过程中，晶圆盒在制程设备中传进传出的标准机械界面，在密闭的环境下完成读取晶圆盒的信息、晶圆数量、传进、传出等操作，保证晶圆与洁净室大环境隔离，避免人为操作造成的沾污和划伤。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备********
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