招标概要
宽比介质刻蚀机数量：1台设备原理及用途：基本原理：在射频电压的作用下，碳氟类气体产生的等离子体，和二氧化硅反应生成SiF4,生成物被抽出腔体最终达到刻蚀的目的。用途：主要用于高深宽比介质刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2540SUMECA83/********
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