包号：001产品名称：详见下表数量：1套是否为经过审批采购的进口产品：是

招标文件要求重要提示：实质性要求及重要技术指标用★和▲标注（★标注项不得负偏离，如果负偏离，则投标文件无效。）

投标文件响应内容（按照左侧招标文件要求，逐项对照填写，请勿直接填写“无偏离”“完全响应”等字样）

偏离程度（必须填写）

偏离说明

证明材料

★1、表面形貌重复性（按照ISO25178定义）不高于0.15nm，成像像素不低于1600*1200；2、测量原理：相干扫描干涉原理；非接触，3D测量；3、光源：采用单一长寿命,大功率LED光源,不需要切换光源；4、纵向扫描范围可达20mm，（单次扫描取样最大可达20mm。）；5、测试原理:具备非接触相干扫描干涉CSI采样方式，无须切换扫描模式，单次扫描，达到下列第6项；6、RMS重复性优于:0.1nm；7、扫描速度最大可达170um/s;8、台阶测量重复性优于0.3%@1σ；台阶测量精度优于3%；9、功能要求，自动找条纹功能，自动软件设置；10、主机包含抗震功能，无需另配隔震平台就可以实现高速精确测量（基于硬件和算法，非后期数据处理）；11、包含电脑及测试软件；12、样品台自动XY平移功能，具有拼接功能；X,Y方向电动移动范围100x100mm；Z轴聚焦模式：100mm自动聚焦；★13、10倍干涉物镜一个，光学分辨率0.95um，工作距离不少于7.4mm；

提供证明材料，在此标明证明材料所在页码

序号

招标文件的商务条款（实质性要求及重要指标用★标注，★标注项不得负偏离，如果负偏离，则投标文件无效。）

投标文件响应内容（按照左侧招标文件要求，逐项对照填写，直接填写“无偏离”“完全响应”等字样，或响应内容不全，缺项漏项，均视为无效响应）

偏离程度（必须填写）

说明

证明材料

★1

交货时间：合同签订后3个月内

★2

交货地点：沈阳航空航天大学指定地点

★3

付款方式及条件：合同签订后6日内，中标供应商向采购人提供合同总价款100%的预付款保函（预付款保函为见索即付保函；保函开具前，必须将保函文本向甲方申报，并经甲方确认保函所有条款后，再行开具正式保函；索赔不得附加需中标人同意或需中标人提供证明材料条款。保函有效截止日期不得早于本项目交货完成日期），采购人收到预付款保函后，支付等额预付合同款。

★4

质量保证期：按技术指标进行验收，验收合格后1年为质保期，免责免费保修期为1年。

★5

热线支持：提供现场支持：2小时内响应；48小时内到达

★6

特殊要求：以人民币为结算单位，本项目报价包含履行本合同至项目交付有关的一切费用，采购人不再单独支付其他任何费用。

★7

验收标准：按照国家及行业相关验收标准进行验收验收程序：按照辽财采【2017】603号《辽宁省政府采购履约验收管理办法》规定执行验收报告：按采购方验收报告填写组织验收主体：本项目的履约验收工作由招标人依法组织实施。

★8

一、技术服务和培训：设备到货后，专业技术人员到现场免费进行安装、调试，确保仪器技术指标验收合格，并在用户实验室免费培训操作技术人员。二、技术资料：供货方提供清单、用户手册、保修单、合格证书等。

★9

如果投标人所投货物为进口产品（必须境外生产同时需要报关入境），则必须为整机原装进口产品，且需要办理免税，同时投标人须具备对外贸易经营及进出口货物海关报关能力，供货时须提供完整的报关材料。(如果投标人所投产品为国产产品，此条不适用）