，配置参数包括：1、双六轴自动耦合机搭配高速光功率计、SMU源表、波长可调光源、偏振控制器和光谱分析仪测试仪表；2、采用龙门架结构，配备1200*800*800mm气浮型隔振光学平台。3###路四维？动RF探###路三维？动DC探###路四维电动二维？动光纤耦合座；4、载物台包含三轴手动位移台；5、芯片真空吸附，温控.
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