招标概要
标。2.项目概况与招标范围********招标编号:ZKX****************招标项目名称:12英寸激光直写光刻机。********数量:1套。********核心技术指标:********曝光光源波长:LD375nm/405nm(可选)********最大光刻面积:8英寸********分辨率:优于********μ********套刻精度:优于±********拼接精度:优于±********交货地点:中国科学院上海技术物理研究所。********交货..
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