招标概要
套系统1套。包含光栅靶室、极紫外-软X射线###路调节系统、辅助瞄准系统及配套真空系统。★1.能谱测量范围：不小于220eV~1200eV；★2.能谱分辨：不低于1%；★3.靶室真空度：不高于1×10-2Pa；★4###路中各元件到光源的最近距离不低于********；★5.靶室需包含不少于2###路，可分别实现连续谱输出以及不少于********
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