L电子束曝光系统，具有亚纳米级的高分辨率，具有高精度图案生成功能，具有多材料兼容处理功能，具有灵活设计和调控功能。拟采购一台，合同签订后七个月内到货，提供安装、培训服务，整机提供1年的免费保修，免费提供电镜操作软件的升级。预计采购时间：2025-04备注：本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步...
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