招标概要
二次招标)进行公开招标。2.项目概况与招标范围项目概况与招标范围:数字曝光机 1台招标编号:0730-254********4-01包名称: 数字曝光机(二次招标)数量:1台简要技术要求:(1)本设备主要用于TFTLCD工艺中,生产UVMask时对涂布光刻胶后基板进行曝光。(2)Mark对位精度:≤±10μm,寻边对位精度:≤20μm(3)分辨率(Resolut.
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