有蓄水溢流、快排装置，挂具全面喷淋清洁,以确保对晶圆表面充分预处理与基本水洗清洁，工艺时间与喷流水压可设定”，现更正为“预处理1槽：槽内设有蓄水溢流、快排装置，挂具全面喷淋清洁,以确保对晶圆表面充分预处理与基本水洗清洁，工艺时间与喷流水压可设定”。2.第八章货物需求一览表及技术规格中********原为“电镀槽.
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