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项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购ICPCVD(电感耦合等离子体化学气相沉积)设备1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2. 招标内容:
招标项目名称:甬江实验室采购ICPCVD(电感耦合等离子体化学气相沉积)设备项目(重招)项目实施地点:中国浙江
招标产品列表(主要设备):
序号 |
货物名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
1 |
ICPCVD(电感耦合等离子体化学气相沉积)设备 |
1套 |
ICPCVD(电感耦合等离子体化学气相沉积)是利用ICP等离子源,增加等离子浓度,以实现在较低的温度沉积高致密性介质薄膜,如SiO2, SiNx等,用于微纳器件的钝化、介电、填充等功能。主要用于低温沉积高致密性介质薄膜材料如SiO2,SiNx等用于微纳器件,微纳光学器件,功率器件的钝化层、介电层等。 |
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3. 投标人资格要求
3.1特定资格条件:
3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商,如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书;
3.2本项目不接受联合体投标。
3.3未领购招标文件不可以参加投标。
4. 招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024年4月28日
招标文件领购结束时间:2024年5月8日
5. 投标文件的递交5.1投标截止时间(开标时间):2024年5月22日9 时00分(北京时间)
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