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招标概要
深圳国际量子研究院电子光学系统主机采购项目意向公开
| 采购单位: | 深圳国际量子研究院 |
| 项目名称: | 电子光学系统主机采购项目 |
| 预算金额（元）: | 1,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟采购的电子光学系统主机是一种控制电子束进行扫描偏转的装置，其利用多级电磁透镜系统，控制高电压电子枪发射出的电子束流进行偏转，将加速的电子束按照设计的版图进行控制，在抗蚀剂上高速扫描绘制结构。电子光学系统主机的主要参数：最大加速电压100kV，配有ZrO/W肖特基场发射电子源，XY运动平台支持6英寸样品。设备主要由电子枪、镜筒、真空腔体、基座等部分构成。 |
| 预计采购时间: | 2024-1 |
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联系人：崔健
手机：13661028472 (欢迎拨打手机/微信同号)
电话：010-53658203
邮箱：cuijian@dlzb.com
QQ：3061293214
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