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招标概要
:≥182mm*182mm,≥1片;********极限真空度:≤********;********长期使用温度范围:150-250℃;温度均匀性:≤±5℃;********气体种类至少包含:硅烷、氢气、硼烷、磷烷、氩气、氮气;2.采购磁控溅射系统一套,主要参数如下:********衬底尺寸:≥182mm*182mm,≥1片;********溅射靶:≥2套;********工艺腔极限真空:≤********;********电源:电源...
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邮箱:wangkai@dlzb.com
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