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招标概要
1、招标条件
项目概况:宜兴中车时代半导体有限公司刻蚀设备项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:宜兴中车时代半导体有限公司刻蚀设备项目
招标产品列表(主要设备):
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人具有所投设备的制造或销售资格,制造商近三年(以投标截止时间前36个月为有效,以合同或订单甲方签订时间为准)硅刻蚀设备、深硅刻蚀设备、金属干法刻蚀设备业绩均不低于20台。(投标文件中必须提供合同或订单复印件)
2、投标人如为贸易公司,必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2023-08-02
招标文件领购结束时间:2023-08-09
项目概况:宜兴中车时代半导体有限公司刻蚀设备项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:宜兴中车时代半导体有限公司刻蚀设备项目
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 硅刻蚀设备 | 5台 | 用于IGBT芯片制造中完成沟道截止层刻蚀(channel stop)、浅硅凹槽Indent刻蚀、多晶硅刻蚀(Gate)、氮化物/半绝缘多晶硅刻蚀(Si-pos)、顶角圆化刻蚀(TCR)等工艺的等离子刻蚀设备。详见技术规格书 | ★本项目设备不分包。项目设备不得拆分投标。 |
2 | 深硅刻蚀设备 | 2台 | 用于IGBT芯片制造中完成深硅刻蚀工艺的等离子刻蚀设备。详见技术规格书 | |
3 | 金属干法刻蚀设备 | 4台 | 一套刻蚀设备包含2个金属刻蚀腔和2个去胶工艺腔。详见技术规格书 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人具有所投设备的制造或销售资格,制造商近三年(以投标截止时间前36个月为有效,以合同或订单甲方签订时间为准)硅刻蚀设备、深硅刻蚀设备、金属干法刻蚀设备业绩均不低于20台。(投标文件中必须提供合同或订单复印件)
2、投标人如为贸易公司,必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2023-08-02
招标文件领购结束时间:2023-08-09
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联系人:李静
手机:13683174576 (欢迎拨打手机/微信同号)
电话:010-53605601
邮箱:lijing@dlzb.com
QQ:484924908
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电话:010-53605601
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