*受北京瑞普北光电子有限公司的委托，就其所需的激光调阻系统进行国际公开招标采购，兹邀请合格投标人前来投标。
1. 项目名称
北京瑞普北光电子有限公司激光调阻系统采购
2. 招标编号(请登录)
3. 设备名称及数量
激光调阻系统 1套
4. 主要技术要求
3.3.1 带图像识别的激光定位系统
*3.3.2可对各种形状的材料电阻或连接线进行修调，形状包括矩形、，帽型、梯形等；金属材料：鉻硅、铝、金、多晶硅等；厚膜或薄膜。
3.3.3均采用全电脑控制，修调工艺均由电脑控制， 支持修调过程中激光能量、斑点大小、频率编程设置；
3.3.4刻线精度≤10μm，
3.3.5 可连接测试系统通讯，电阻测量精度：0.05%
承片台技术指标
1、闭环的 X, Y, Z, Theta stage；
2、 X-Y分辨率: 0.02μm；精度: ±2μm；
3、Z范围: 10mm (0.39”)；Z分辨率: 0.13μm；
4、Theta 范围: ±5°分辨率: 1.4μrad；
5、承片台尺寸: 支持 100mm 芯片；
光学系统
1、定位精度: 优于 ±1μm；
2、定位分辨率: ＜0.06μm；
3、最小光斑尺寸: 6.5μm；
4、聚焦深度: ±12μm ；
5、双CCD照相放大视频系统 ；
6、扫描定位尺寸: 10mm x 10mm (14mm diameter)；
7、激光波长: 1.064±0.01μm；
8、激光能量范围: 0.1 to 3μJ @ 6.5μm 光斑 ；
9、脉冲宽度: 7ns ±1ns@1KHz；
10、稳定度: 3.0% rms 。
5. 交货期
合同生效后9个月内。
6.*招标文件发售时间
自2022年1月14日起至2022年1月21日止（北京时间），每个工作日9:00～11:30，下午13:30～16:30。
*招标文件售价
每份售价人民币600元整，售后不退*
*投标截止时间
2022年2月10日09:30（北京时间），逾期不予受理。

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