同济大学X射线离子束镀膜机国际招标公告
*受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标*。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:X射线离子束镀膜机
资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实。
项目已具备招标条件的说明:本次招标所需的资金来源已经落实 招标文件已完善，已具备招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:0705-184016336592
招标项目名称:X射线离子束镀膜机
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	1) X射线离子束镀膜机	1	1、*设备功能：双离子束溅射（包括辅助离子枪），反应溅射，离子束抛光和离子束面形修正。面形修正需配备聚焦离子枪。 2. *溅射离子枪参数（双枪）：能量范围 100-1500eV，离子源输出尺寸大于350mmx100mm。 3. *溅射靶材位置：不少于6个，靶材尺寸不小于400mm长。 4. *聚焦离子枪参数：束斑尺寸最小1mm，能量800-1500eV 5. *基底尺寸：最大尺寸500mm长x300mm宽x80mm厚，同时可做圆对称基底300mm直径。 6. *多层膜镀膜厚度均匀性：500mm x 100mm区域<1% PV，多层膜界面缺陷宽度小于0.4nm。镀膜材料包括Mo, W, Ni, Si, C, B4C等。 7. *基底一维精密运动：行程750mm，定位重复性精度优于0.5mm，速率范围0.01mm/s-40mm/s 8. *聚焦离子枪的4维精密运动系统，配合离子束修正，重复定位精度优于0.05mm。 9. *基底面形修正精度：500mm长平面基底，修正精度误差2nm。直径200mm平面基底，修正精度误差<1nm. 10. *最大基底重量：21kG 11. *极限真空：5x10-6Pa	项目预算：人民币1360万

3、投标人资格要求(010）63963855
投标人应具备的资格或业绩:1） 必须是具有独立法人资格的法人或其他组织，并具有相应的经营范围； 2） 投标人须为投标设备的制造商或投标设备制造商授权的代理商（代理商必须提供制造商关于本项目的唯一授权书）； 3） 本项目不接受联合体投标；*
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-10-15
招标文件领购结束时间:2018-10-22

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