PSS缺陷及反射率检测设备国际招标公告(1)
招标编码：DLZB.COM_20180321_-1
*受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2018-03-21在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1 全自动上下膜机 1台
包2 椭偏仪 1套
包3 辉光放电原子仪 1套
包4 AIXTRON G4升级 1台（套）
包5 步进投影曝光机 1台
包6 全自动分选机 20台
包7 电加热-水洗式尾气处理器 1台（套）
包8 Plasma清洗设备 4台
包9 水洗式尾气处理器 1台（套）
包10 E-Gun  ITO蒸镀机 1台（套）
包11 PSS缺陷及反射率检测设备 2台（套）
包12 光学晶片综合测试仪 1 台

资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-1840SUMECB24/11
招标项目名称:PSS缺陷及反射率检测设备
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	全自动上下膜机	1台	贴膜指标：均匀、无气泡、切割边无瑕疵
2	椭偏仪	1套	光谱测试间隔：≤3nm
3	辉光放电原子仪	1套	恒温系统：光谱仪恒温区温度变化±0.1°C
4	AIXTRON G4升级	1台（套）	新大石墨轉盤動態水平度調整，Wobble < 150um
5	步进投影曝光机	1台	晶圆尺寸：兼容2/4/6inch
6	全自动分选机	20台	BIN蓝膜尺寸：210mm*210mm（max）
7	电加热-水洗式尾气处理器	1台（套）	设备最大处理气体容量：不小于400L/min。
8	Plasma清洗设备	4台	晶圆尺寸：适用于4/6英寸
9	水洗式尾气处理器	1台（套）	气体平均处理效率：不低于99%。
10	E-Gun  ITO蒸镀机	1台（套）	蒸镀速率 Rate：0.2-5 à / S
11	PSS缺陷及反射率检测设备	2台（套）	稼动率（1年内）：大于95％
12	光学晶片综合测试仪	1 台	精确度 ≤0.5um

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本；
2、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查）
3、投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件
4、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署，则需要提供《单位负责人授权书》，授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查）
如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-03-21
招标文件领购结束时间:2018-03-28

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